1.品名
清洁滚轮式粘尘机
ＭＣ‐２０００
2.生产流程概要
本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成，用来清除基板上的灰尘与垃圾。
清洁胶纸与清洁滚轮的抽屉式拉出机构，方便物品更换与保养。
具有跳跃功能，滚轮在和曝光膜接触前，上方滚轮通过传感器自动感应并跳跃过曝光膜的前端有效防止了卷膜的发生。并且可以预防超薄基板的卷板现象发生。
3.机器的特征
● 清洁胶纸的抽屉式拉出机构
根据抽屉式拉出机构可以很简单地进行清洁胶纸的更换。
● 清洁滚轮的抽屉式拉出机构
根据抽屉式拉出机构可以很简单地对清洁滚轮进行维修保养。
● ＭＤＣ方式（非接触式驱动+棘轮机构）
● 非接触式驱动
电机和清洁滚轮之间使用磁力驱动轮进行非接触式驱动。
²根据非接触式驱动可以完全杜绝从驱动部产生垃圾，用不着用挡板来阻挡和回收机器内部的垃圾。
²非接触式驱动有以下几个优点。
低噪音。
机器过载（比如基板发生夹板堵塞时）时不会损伤机器。在驱动部不使用齿轮，传送皮带等部品，因此消耗品很少。
● 棘轮机构
磁力驱动轮上装有棘轮机构，吸收清洁机的前后机器的速度差，保持速度一致。
● 跳跃功能
当基板进行清洁时根据机器跳跃功能使入口处的上方滚轮跳过基板的前端，具有以下的优点：
²因为基板在进入清洁滚轮的一瞬间，跳跃功能使滚轮跳过基板的前端避免了基板与滚轮因冲撞而产生的负荷。
²在曝光机的前方使用时，刚好跳跃过曝光膜的前端，有效防止了曝光膜的卷膜现象的发生。
²在进行薄型基板的清洁除尘时，跳过基板的前端，有效防止了薄型基板被卷进清洁滚轮中的现象发生。
²根据切换开关可以选择进行一般的不跳跃运转和跳跃运转。
● 触摸式控制面板
采用触摸屏对机器进行操作控制。
触摸屏设置在机器的正上方，便于操作。
● 计数功能
在触摸屏上设定好过板数，当到达设定值时，触摸屏上自动出现通知画面，
并且画面颜色变为红色，同时蜂鸣器发出报警音。
● 除静电对策
离子式除静电棒分别安装在出口处的上下方。
上下方离子式除静电棒可以直接从机器后方拔出来，免于清扫及日常保养。
● 用变频器进行电机的稳速控制
通过用变频器控制使电机速度稳定，而且与一般使用的电磁式电机相比降低了电机回转数，提高了节能率。
● 运转速度的数字化表示运转速度的数值设定，实现了了速度的数字化控制。
● 其他
² 机器的本体支架采用了铝合金角支架进行组装的，不仅提高了本体支架的强度，而且减轻了重量。
² 为了防止机器本体外罩以及支架的喷涂油漆的脱落，机器的所有部分都是使用不锈钢材料进行组装。
² 为了保持清洁室的清洁度，让机器内部的空气与清洁室之间的空气对流无阻，电气部的部品都是采用竖立式结构被固定在机器上。
4.可清洁基板
尺寸 宽度 620 ㎜（MAX）
厚度 t 0.04 ～ 2.0 ㎜
5. 机器规格
1）传送方向 *根据指定
2）过板高度 *请指定高度
3）防静电对策 在机器出口侧上下方安装离子式除静电棒
除静电装置 交流是除静电装置
输出电压 AC7000V
※ 上下方离子式除静电棒可以直接从机器后方拔出来，清扫起来很容易。
4）滚轮和清洁胶纸的保护功能
切断电源或者关闭机器的运转开关时,清洁胶纸自动跳起,与滚轮分离开。
5）清洁滚轮驱动部
清洁滚轮的驱动方式 MDC方式
（非接触式驱动 ＋ 棘轮离合器）
电机的驱动方式 变频器稳速控制
电机驱动 25 W ×1个
传送带速度 1 ～ 18 m/min（可变）
速度设定方式 根据数值的入力的改变
速度表示 速度的数值化表示 4位
6）基板的跳跃功能
跳跃方式 能够进行以下方式的切换。
① 只有入口处的第一段清洁滚轮进行跳跃
② 第一段和第二段清洁滚轮都跳跃
③ 不进行跳跃（推荐厚度为1.0 ㎜以下的基板使用）
设定部 在触摸屏上进行设定
设定项目 ① 跳跃方式
② 跳跃距离
跳跃高度 约 2.5 ㎜
7）清洁滚轮 抽屉式拉出机构
型号 GR005-50
有效宽度 640 ㎜
硬度 50 °
外径 φ 50 ㎜
使用根数 上下各2根，共4根
