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  • MC-1200

    本机器由4根(上下各2根)清洁滚轮和2根(上下各1根)清洁胶纸构成,用来清除基板上的灰尘与垃圾。

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  • MC-2000

    本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成,用来清除基板上的灰尘与垃圾。
    清洁胶纸与清洁滚轮的抽屉式拉出机构,方便物品更换与保养。
    具有跳跃功能,滚轮在和曝光膜接触前,上方滚轮通过传感器自动感应并跳跃过曝光膜的前端有效防止了卷膜的发生。并且可以预防超薄基板的卷板现象发生。

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  • GT-2303

    本机器的构造是基板从机器上方投入,清洁除尘后再返回机器上方的竖式带有往返机构的粘尘机。

    本机器的宽度只有320mm的设计制造使原来水平式往返机构的机器因放置不下而不能使用清洁机的狭窄场所也能进行设置使用。而且,无论从机器左方还是右方都能进行基板的投入清洁,因此可以将本机器设置在设备与设备之间进行左右两侧投板方式的基板的清洁除尘。

    本机器由4根清洁滚轮和4根清洁胶纸构成,可以同时去除基板正反面两侧的灰尘和尘埃。

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